中电科电子装备集团

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深圳捷佳伟创

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中微半导体设备

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上海微电子装备

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北京京运通

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浙江天通吉成

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盛美半导体设备

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沈阳芯源微电子

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沈阳拓荆科技

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上海至纯科技

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